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MF5708系列气体质量流量计

日 期:2021-05-03 21:04:02
测量范围:1231次
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 MF5700系列便携式气体质量流量计、MF5706系列气体质量流量计、MF5708系列气体质量流量计、MF5712系列气体质量流量计
MF5700系列气体质量流量计是基于广州海伦仪器仪表有限公司自主研制的MEMS流量传感芯片,其原理是利用流动气体传热传质的依存关系,在其上、下游产生温度变化而 得到气体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时,在传感器的 周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时,气体的流动将破坏该 温度场的分布,形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流 量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号,由一个专门的电路变 送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形 成稳定的温度场分布所产生的扰动不同,因而能测量气体的质量流量或总流量。

己是最前一条 己是最后一条